案例分享 | 桦汉嵌入式无风扇工业电脑，让晶圆自动化传输更智能！

发布日期：2024-06-06 09:49:52 内容来源于：http://www.ennoconn.cn/news/1277.html 浏览次数：次

EFEM（Equipment Front End Module）半导体设备前端模块，是连接物料搬运系统和硅片处理系统的桥梁。

作为半导体制程/检测设备中必不可少的关键组成部分，EFEM主要负责在高洁净环境下，将单片晶圆通过精密机械手传输至工艺、检测模块。这一过程中，任何微小的尘埃或污染都可能对晶圆造成不可逆的损害。因此，EFEM设备不仅要具备高度的可靠性和稳定性，还要能够适应各种复杂的工业环境。

桦汉科技嵌入式无风扇工控机以其独特的特性和优势，为EFEM的高效、稳定运行提供了有力支持。与传统工业计算机相比，桦汉无风扇工控机采用了更为紧凑的设计，不仅减少了占地面积，还避免了因风扇转动而产生的尘埃和噪音。

客户需求

无风扇BOX，7*24H稳定工作
8个RS232
2 个千兆网口，LAN需Intel芯片，支持EtherCat总线
4 x USB
24V宽压输入

基于客户需求，桦汉推荐适用于工业自动化、机器视觉、设备检测、智能制造等领域的嵌入式无风扇工控机CES-EH42-D2A0作为解决方案。

运行原理

机箱内部24V 开关电源给工控机供电；
HDMI高清显示接口, 实时显示采集、检测数据；
EFEM有3个进料盒，当上游晶圆硅片到每个进料盒时，通过机器上COM口接的扫描仪扫描盒子里的每片晶片，同步通过COM口上的读码器读取晶片信息；
通过LAN1口接机械手臂控制器，EtherCat总线控制，当进料盒进料后，控制机械手臂传送晶片；通过LAN2接工业相机，时时监测晶片状态信息;
当机械手臂传送晶片时，工控机通过COM7控制风机设备吹离子棒释放离子，中和空气中离子平和度，保持空气洁净度，同时通过COM8接压差仪，监测环境中离子浓度、气压状态，保证晶片在传送过程中的洁净度，使晶片洁净、无污染的送到划片制程端。

产品特性

CES-EH42-D2A0采用Core ™ i /Celeron®处理器，搭载H420E芯片组，为不同应用场景提供了出色的计算能力和能效比。

产品支持双通道DDR4 2666/2933 MHz内存，最大支持64GB，能够轻松处理大量数据和多任务应用。

CES-EH42-D2A0配备了1 x Mini-PCIe、1 x M.2 2230 wifi卡槽及1 x M.2 2242扩展槽，可提供灵活的扩展选项，无论是添加无线通信功能还是安装其他功能卡，都能轻松实现。

此外，产品还支持2个或4个千兆网口，确保数据传输稳定无延迟，提供更加可靠的网络环境。

支持VGA和HDMI异步双显，能够同时连接两种不同类型的显示器，满足多样化的显示需求。

复位开关和2PIN远程开关的设计，则确保了在遇到运行问题时能够快速重启或远程启动设备，为产线作业提供了极大的便利。

与CES-EH42-D2A0具备相同出色性能的CES-EQ47/EH42-DXXX系列嵌入式无风扇工业电脑，采用Core ™ i /Celeron®系列LGA1200处理器，搭载H420E/Q470E芯片组，性能稳定且扩展选项丰富。标准19-24V DC电源输入，保证了产品的稳定运行和广泛适用性。